配置丰富，Option包括： 1）可以配置2个或者3个loadport，芯片AOI厂商，作为分选用用于数据记录和上传 7）可以配置FFU和Ionizer 10.）显微镜处，可以追加修改wafer map data的功能 进料的wafer，芯片AOI厂商，经过正反面目检和显微镜正面micro检查，进行检查和分选 易捷测试提供AOI-wafer光学检查机

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晶圆光学检查机，简称AOI，可取代人工检查，达到检测一致性并缩短检测时间，芯片AOI厂商，大幅提升产能与产品质量的重要关键，操作员不接触wafer，避免了污染和损伤wafer 6）可以配置独立的翻转wafer翻转机构，便于正反两面快速的检查 4）可以配置FOUP的RFID读写功能 2）可以配置wafer box模块，深圳市易捷测试技术有限公司,易捷测试技术,作为wafer上料用

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