5）可以配置双臂机器人，3DAOI检测设备，加宽运行速度

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2）可以配置wafer box模块，作为wafer上料用 进料的wafer，经过正反面目检和显微镜正面micro检查，3DAOI检测设备，进行检查和分选操作员不接触wafer，避免了污染和损伤wafer 配置丰富，Option包括： 1）可以配置2个或者3个loadport，作为分选用 3）可以配置wafer正面或者背面OCR ID，深圳市易捷测试技术有限公司,易捷测试技术,2D barcode读取功能 6）可以配置独立的翻转wafer翻转机构，3DAOI检测设备，便于正反两面快速的检查 8）可对应和区分多种cassette 10.）显微镜处，可以追加修改wafer map data的功能 检查晶圆类别：崩边、破裂、划痕、刮伤、变色、保护层缺失、外来物、桥接等 9.）可选用真空叉手，edge grip叉手或者非接触式伯努利叉手

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