禁带宽度越大,器件的极限工作温度越高.碳化硅的禁带接近硅的3倍,可以保证碳化硅器件在高温条件下工作的可靠性.硅器件的极限工作温度一般不能超过300℃,而碳化硅器件的极限工作温度可以达到600℃以上!同时,碳化硅的热导率比硅更高,高热导率有助于碳化硅器件的散热,在同样的输出功率下保持更低的温度,碳化硅器件也因此对散热的设计要求更低,有助于实现设备的小型化.实现高频的性能。碳化硅的饱和电子漂移速率大,是硅的2倍,这决定了碳化硅器件可以实现更高的工作频率和更高的功率密度!
同时碳化硅衬底材料能量损失更小。在相同的电压和转换频率下,400V电压时,碳化硅MOSFET逆变器的能量损失约为硅基IGBT能量损失的29%-60%之间;800V时,碳化硅MOSFET逆变器的能量损失约为硅基IGBT能量损失的30%-50%之间!因此碳化硅器件的能量损失更小!当前外延主要以4英寸及6英寸为主,大尺寸碳化硅外延片占比逐年递增。碳化硅外延尺寸主要受制于碳化硅衬底尺寸,当前6英寸碳化硅衬底已经实现商用,因此碳化硅衬底外延也逐渐从4英寸向6英寸过渡!
有人说这是激光切割技术,作者研究后发现应该不是激光切割,而是类似离子注入法和做SOI硅片的技术比较接近的剥离技术。碳化硅透光率很高,激光切并不合适,而且激光切割设备相当昂贵,当然离子注入法剥离也不简单,现阶段现实的还是线切!切割良率就真正考验各家水准了,同样3cm晶锭厚度,终得片率是30片还是33片还是35片?每多一片都是利润!对于磨抛而言,也有不少技术难点还未完全,但是要比切略简单,无非是慢一点。
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由于物理气象传输(PVT)制备碳化硅衬底的BPD密度较高,外延层中对器件有害的BPD多来自于衬底中的BPD向外延层的贯穿!因此,提高衬底结晶质量可有效降低外延层BPD位错密度!随着碳化硅器件的不断应用,器件尺寸及通流能力不断增加,对结晶缺陷密度的要求也不断增加,在未来技术的进步下,碳化硅外延片结晶缺陷密度会随之不断下降。综述了三氧化二铝-碳化硅-碳浇注料防氧化技术的防氧化效果以及对材料性能、组成和结构的影响,根据含碳耐火材料的氧化损毁机理,主要分析了防氧化剂的两种作用形式即优先碳源氧化法和优化碳源法!
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在未来几年里,大尺寸碳化硅外延片占比会逐年递增!由于4英寸碳化硅衬底及外延的技术已经日趋成熟,因此,4英寸碳化硅外延晶片已不存在供给短缺的问题,其未来降价空间有限!此外,虽然当前国际先进厂商已经研发出8英寸碳化硅衬底,但其进入碳化硅功率器件制造市场将是一个漫长的过程,随着8英寸碳化硅外延技术的逐渐成熟,未来可能会出现8英寸碳化硅功率器件生产线!碳化硅外延主要解决外延晶片均匀性控制和外延缺陷控制两大问题。
2cm厚度的碳化硅晶锭,现有技术完全切开也需要至少100小时左右,相当费时间.锯切效率高,但是破片率高,线切效果稍好,但是效率很低。切磨抛设备日本高鸟,永安有不少新设备上线,从业内反馈效果还行,但是日本公司都有个通病,不太愿意大规模扩产,因此这些设备谁买到谁就能先把产能扩出来.英飞凌曾经花了24亿欧元收购一家做碳化硅冷切割(coldspitl)技术的公司Silecrta,以希望用冷切割技术,低成本得到多的碳化硅晶片。
所以在实际应用过程中,与硅基相比可以设计成更小的体积,约为硅基器件的1/10.耐高温。半导体器件在较高的温度下,会产生载流子的本征激发现象,造成器件失效.禁带宽度越大外延晶片均匀性控制方面,由于外延片尺寸的增大往往会伴随外延晶片均匀性的下降,因此大尺寸外延晶片均匀性的控制是提高器件良率和可靠性、进而降低成本的关键!外延缺陷控制问题.基晶面位错(BPD)是影响碳化硅双极型功率器件稳定性的一个重要结晶缺陷,不断降低BPD密度是外延生长技术发展的主要方向.
记者获悉,背靠深圳这一全球当今最大的彩电、手机、笔记本电脑、U盘、MP3大企业聚集地和IC消费地,注重研发和创新,是深圳IC产业逆市增长的重要因素。以与整机厂商“绑定”的海思、中兴微、芯邦等企业为例,由于背靠去年增速超过50%的华为,海思去年实现销售收入达26亿元,成为国内IC设计行业老大;优盘厂商芯邦则由于已成为国内外大批移动存储厂商的主流供应商,目前仍牢牢占据全球四成以上的优盘芯片,具有抗经济危机的较强能力。NEWS
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