3）可以配置wafer正面或者背面OCR ID，2D barcode读取功能 配置丰富，Option包括： 1）可以配置2个或者3个loadport，作为分选用 10.）显微镜处，可以追加修改wafer map data的功能用于数据记录和上传 4）可以配置FOUP的RFID读写功能 7）可以配置FFU和Ionizer操作员不接触wafer，3DAOI显微镜，深圳市易捷测试技术有限公司,易捷测试技术,避免了污染和损伤wafer

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