可读取cassette上的条形码 2）可以配置wafer box模块，芯片AOI显微镜，作为wafer上料用

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进料的wafer，经过正反面目检和显微镜正面micro检查，进行检查和分选 8）可对应和区分多种cassette 易捷测试提供AOI-wafer光学检查机 经验丰富的晶圆级AOI技术和供应商 以客户为导向的解决方案，高度灵活性 具有更好COO的2D / 3D解决方案的专享技术 可以集成第三方镜头和传感器进行高测量 1）双相机，几乎同一聚焦面 2）可倾斜相机，加强DOF2D 和 DFF 3）扫描方向很大程度满足用户需求 4）2D,3D激光测量 线扫测量结合 5）AOI-晶圆光学检查机 Handler 标准配备1个Load port，单臂翻转机械手，芯片AOI显微镜，预对准模块，芯片AOI显微镜，目检台和显微镜 兼容8寸和12寸晶圆 标准load port可以对应FOUP，AutoFOSB自动开盖，具备Mapping功能 高精度运动机构，低噪音，低尘，深圳市易捷测试技术有限公司,易捷测试技术,无需供油 触摸屏操作,界面友好 对应GEM300，采用SEMI标准软件 3）可以配置wafer正面或者背面OCR ID，2D barcode读取功能 9.）可选用真空叉手，edge grip叉手或者非接触式伯努利叉手 4）可以配置FOUP的RFID读写功能 10.）显微镜处，可以追加修改wafer map data的功能

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