2）可以配置wafer box模块，作为wafer上料用操作员不接触wafer，避免了污染和损伤wafer 10.）显微镜处，AOIHandler，可以追加修改wafer map data的功能 易捷测试提供AOI-wafer光学检查机 经验丰富的晶圆级AOI技术和供应商 以客户为导向的解决方案，高度灵活性 具有更好COO的2D / 3D解决方案的专享技术 可以集成第三方镜头和传感器进行高测量 1）双相机，几乎同一聚焦面 2）可倾斜相机，加强DOF2D 和 DFF 3）扫描方向很大程度满足用户需求 4）2D,3D激光测量 线扫测量结合 5）AOI-晶圆光学检查机 Handler

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