2）可以配置wafer box模块，作为wafer上料用 4）可以配置FOUP的RFID读写功能 6）可以配置独立的翻转wafer翻转机构，便于正反两面快速的检查通过读码，自动调取wafer map data，检查出有不良的chip时，可以人工标注并且修改该chip的map data，并且上传到工厂网络 易捷测试提供AOI-wafer光学检查机 经验丰富的晶圆级AOI技术和供应商 以客户为导向的解决方案，高度灵活性 具有更好COO的2D / 3D解决方案的专享技术 可以集成第三方镜头和传感器进行高测量 1）双相机，waferAOI检测设备，几乎同一聚焦面 2）可倾斜相机，加强DOF2D 和 DFF 3）扫描方向很大程度满足用户需求 4）2D,3D激光测量 线扫测量结合 5）AOI-晶圆光学检查机 Handler 标准配备1个Load port，waferAOI检测设备，单臂翻转机械手，waferAOI检测设备，预对准模块，目检台和显微镜 兼容8寸和12寸晶圆 标准load port可以对应FOUP，AutoFOSB自动开盖，深圳市易捷测试技术有限公司,易捷测试技术,具备Mapping功能 高精度运动机构，低噪音，低尘，无需供油 触摸屏操作,界面友好 对应GEM300，采用SEMI标准软件

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7）可以配置FFU和Ionizer 5）可以配置双臂机器人，加宽运行速度操作员不接触wafer，避免了污染和损伤wafer

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