因此近十几年来世界各国都十分重视超精密加工技术的研究和开发，美国最早成立了Nano研究中心，英国制订了NION(National Initiative on Nanotechnology)计划，日本制订了ERATO(Exploratory Research for Advanced Technology)规划等。美国率先发展超精密加工技术，80年代后期，美国通过能源部"激光核聚变项目"和陆海空三军"先进制造技术开发计划"，对超精密金刚石切削机床的开发研究，投入了巨额资金和大量人力，实现了大型零件的微英寸超精密加工。如美国劳伦斯·利弗莫尔国家实验室已经研制出一台大型光学金刚石车床(Large Optics Diamond Turning Machine，LODTM)，是一台最大加工直径为1.63m的立式车床，定位精度可达28nm。借助在线误差补偿能力，它已实现了距离超过1m而直线度误差只有±25nm的加工。日本超精密加工技术水平较高，应用对象大部分是民用产品，包括办公自动化设备、视象设备、精密测量仪器、医疗器械和人造器官等。