HERZ主动式减震台/防震台/隔振台适用范围：为各类显微镜隔震台、原子力显微镜AFM主动隔震台、干涉仪主动减震台、电镜主动防震台、电子天平减震台、扫描隧道显微镜STM主动隔震台、半导体设备减震台、电子显微镜主动减震台、FIB系统主动隔振台、半导体设备主动减震台、干涉仪主动隔振台、轮廓仪主动减震台、EBL电子束曝光机主动隔振台。

HERZ主动式减震台/防震台/隔振台产品用途：消除或降低地表附近震动源产生的震动，从而消除或减少由于地表震动 (包括附近建筑和设备所产生的震动)传导入FEI电子显微镜而引起的震动干扰，保证电子显微镜的运行环境和工作状态。

产品型号介绍：TS-140、TS-150、TS-300

系统配置：完全整合

主动隔振范围：频率大致为 0.7 ～ 300 Hz (超过300 Hz为被动隔振)

幅度: 20 um (垂直和水平)

高度调节：自动

搬运或运输期间锁定：自动锁定功能

隔振条件：可在前显示屏上观察到。可通过将示波器连接到后面板上的BNC 插座观察8 轴振动状态。

安装板尺寸：600 (W) x 800 (D) mm

整体尺寸 (大约) 600 (W) x 800 (D)x 121 (H) mm

负载能力(同等 /低重心）：300 kg（考虑到负载上的偏心重量，请在负载能力80% 范围内使用）。

系统重量 (大约)：60 kg

输入电压：90 ～ 120 ＶAC,  200 ～ 240 VAC, 43-60 Hz

功耗：隔振期间10 W，负载调整期间 20 W

温度范围：5 ℃ ～ 40 ℃

相对湿度：10 ～ 90 %（5 ～ 30 ℃）,10 ～ 60 %（30 ～ 40 ℃）

服务场所：仅用于室内

工作高度：高达2,000 m

选项1 TP25 安装板: 铁磁拉丝不锈钢410 表面, 无漆,

M6-25 mm XY 矩阵钻孔和螺孔，有效攻丝深度: 6 mm

选项 2 遥控盒

选项 3 内置减振功能的高刚性框架

       

产品型号介绍：AVI-200S/LP、AVI-400S/LP、AVI-600S/LP

系统配置：独立隔振装置 & 控制装置

主动隔振范围：大致为0.5 Hz - 200 Hz

被动隔振范围:大致为200 Hz以上

显示屏信号:多路复用信号用于示波器显示器包含和不含隔振的振动水平。

LEDs 指示输出阶段的过载情况。

单元尺寸(每个):120 x 396 x 112.5 Hmm,

控制器尺寸:241 x 287 x 142 Hmm

隔振单元重量: 8 kg

负载能力:400 kg -2000KG

输入电压: 90 - 125 VAC / 200 - 250 VAC, 50 - 60 Hz

功耗：通常9W

校正力：水平4N，垂直8N

系统噪音：0.1-200Hz任何方向上低于50nG/√Hz

静态柔度：垂直约3.5µm/N，水平约7µm/N

温度范围：5℃ - 40℃

相对湿度：10 - 90 % (5 - 30 ℃)・10 - 60 % (30 - 40 ℃)

室内/室外使用：仅用于室内

HERZ主动式减震台/防震台/隔振台

是一款紧凑型的主动隔振系统，是纳米技术大型仪器隔振的解决方案。对升级和整合到现有的需要低频隔振功能的设备来说是理想的选择，AVI-600 work station可自由选择整个系统的尺寸大小和配置，通过增加隔振模块的数量可以增大系统的承重（承重可至9000磅）。广泛用于蔡司ZEISS、莱卡Leica、日立HITACHI、日本电子JEOL等品牌的大型电子显微隔振，电子显微镜主动式隔振台、防震台、减振台十年经验，以及半导体设备、大型干扰仪、电子天平精密设备隔振。适用于各类大型显微镜AEMSEMATMTEM,干扰仪防震台，轮廓仪防震台，电子太平防震台，超快激光系统防震台，时频系统防震台，大型半导体设备防震台，激光设备主动防震！

HERZ主动式减震台/防震台/隔振台工作原理

AVI系列主动隔振台采用先进的隔振技术，适用于任何科研环境下，该隔振模块可以隔离6个空间方向的振动（包括水平方向和竖直方向），AVI系列主动隔振台利用控制器内的压电加速传感器将外界振动的压力信号转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，随后压电换能器将产生一个与传入压力大小相等，方向相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路消除隔振系统的机械共振。

                                                                                                                           

         

HERZ主动式减震台/防震台/隔振台产品特点

主动隔振频率 1Hz - 200Hz                

被动隔振频率>200Hz

5-20ms的响应时间

安装简单，容易使用

稳定性高，能无故障连续使用多年

紧凑、模块化的多功能设计

控制器带数字LED显示屏

HERZ主动式减震台/防震台/隔振台产品应用

SEM                                

TEM

UHV-SPM                      

光刻

隧道显微镜                  

Fabry-Perot干涉仪

大型对振动敏感的仪器设备

HERZ主动式减震台/防震台/隔振台性能优势  

系统主动检测输入振动并动态消除

六个空间方向的自由隔振

系统内部反馈回路抑制所有机械共振

低频隔振性

l无低频共振、无空气要求

HERZ主动式减震台/防震台/隔振台技术参数

 型号 AVI-600S/LP AVI-600M/LP AVI-600XL/LP 

系统配置 

独立隔振装置 & 控制装置 

主动隔振范围 大致为 1.0 Hz - 200 Hz 

被动隔振范围 大致为200 Hz以上 显示屏信号 多路复用信号用于示波器显示器包含和不含隔振的振动水平。

LEDs  指示输出阶段的过载情况。 

单元尺寸(每个) 288 x 396 x 112.5 Hmm 288 x 720 x 112.5 Hmm 318 x 856 x 112.5 Hmm 

控制器尺寸 448 x 286 x 143 Hmm

 隔振单元重量 约 23 kg 约 26 kg 约 34 kg 

负载能力 1,200 kg (同等/低重心) 输入电压 90 - 125 VAC / 200 - 250 VAC, 50 - 60 Hz 

功耗 通常 27 W

 温度范围 5℃ - 40℃ 

相对湿度 10 - 90 % (5  - 30 ℃)・10 - 60 % (30 - 40 ℃) 

室内/室外使用 仅用于室内  

兼容性

AVI-600 work station 主动隔振台可与LFS低频稳定器配套使用来增强低频隔振效果，隔振频率低频段延伸至0.5Hz。

HERZ主动式减震台/防震台/隔振台

TS-140、TS-150、TS-300主动式减震台系统将作为21世纪纳米技术的隔振技术基础，将有助于促进当前技术和测量，创新和发展未知技术。TS 系列在0.7 Hz -100 Hz 宽范围内可在所有六个自由度上提供出色的主动隔振性能。在21世纪的纳米技术 (如代表信息相关技术的先进半导体，声明科学相关技术，如基因治疗，原子或分子处理，如MEMS和新材料生成等工程技术)，振动，噪音，电磁场，热量，湿度，干扰等等将是测量环境的制约因素。在纳米技术中，为取得可靠的结果，难以使用气浮台隔振的低频范围，需要主动隔振。

HERZ主动式减震台/防震台/隔振台工作原理：

TS 系列主动隔振台采用先进的隔振技术，可以隔离6个空间方向的振动（包括水平方向和垂直方向），TS 系列主动隔振台利用控制器内的压电加速传感器将外界振动的压力信号转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，随后压电换能器将产生一个与传入压力大小相等，电子显微镜主动式隔振台、防震台、减振台十年经验，想要电子显微镜主动式隔振台、防震台、减振台十年经验，方向相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路消除隔振系统的机械共振。

HERZ主动式减震台/防震台/隔振台搭载设备：

扫描电子显微镜，如AFM

三维表面轮廓仪

激光显微镜

激光干涉仪

液体表面张力测量系统

显微硬度测量仪器

医疗检查设备等

HERZ主动式减震台/防震台/隔振台产品特征：

三个维度六个自由度主动隔振 0.7 Hz -1000 Hz

高度调节将在负载仪器时自动启用

即使负载偏离中心，自动调平功能将保持水平，可在负载高重心仪器时提供稳定性。

只需按压前面的按键即可锁定和解锁系统。锁定系统可防止搬运或运输过程中发生损坏。

显示屏显示 X, Y 和 Z 方向上的实际振动水平。

通过使用遥控盒，也可从外部启动或关闭主动隔振。(单独售卖)

注：TS 系列也可用作振动器。可选配外部激励器盒，广州市固润光电科技有限公司,电子显微镜主动式隔振台、防震台、减振台十年经验,A固润光电科技A,但需市售功能发生器和BNC 电缆。

结合隔音箱，创造佳测量环境：

对于原子或分子研究，如扫描电子显微镜， TS系列主动隔振系统至关重要。此外，不仅要考虑振动，还应考虑声学抑制。我们所生产的AEk 隔音箱适用于超高分辨率应用，如SPM。将 AEk和TS系列整合可提供测量环境。搭配 AEK-2002 隔音箱：AEK系统采用多层可变密度隔声材料层，可有效隔离宽频带噪声

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