进水水质：经EDI、DI、RO或蒸馏水技术预处理 进水在25℃时的电阻率：＜100μS/cm 进水总有机碳（TOC）：＜50ppb

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进水压力范围：zui高6 bar 进水温度：5-35℃/41-95℃ 超纯一级水电阻率：18.2   MΩ·cm@25℃（电导率：0.055µS/cm@25℃ 出水TOC（总有机碳）：≤2 ppb (µg/L),典型值≤5 ppb (µg/L) 出水颗粒（<0.2 µm）：无尺寸不超过 0.22 µm颗粒 出水细菌：<0.01   CFU/mL；<0.005 CFU/mL 出水致热源（内毒素）：<0.001   EU/mL RNA酶<1  ： pg/mL DNA酶<5  ： pg/mL 蛋白酶<22 ：  µg/mL 出水流速：0.05-2L/min 是否触摸屏：是 独立取水手臂：是

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