气动三通调节阀采用贺筒型薄壁窗口形阀芯结构，不同于柱塞形阀芯的衬套导向。配用多弹簧执行机构，具有结构紧凑、重量轻、体积小、拆装方便等优点。广泛应用于精确控制气体、液体等介质，工艺参数如压力、流量、温度、液位保持在给定值。适合于把一种流体通过三通阀分成二路流出或是把两种流体经三通阀合并成一种流体的场合。

  本系列产品有三通合流及三通分流两种。公称压力有1.6、4.0、6.4MPa；阀体口径范围DN25~200。适用流体温度由-60℃~+450℃。泄漏量标准为IV级。流量特性有直线、抛物线两种。 产品特点：   流对对阀芯作用方向都处于流开状态，故阀能稳定工作。  除上阀盖处衬套导向外，阀芯侧面与阀座内表面也有导向作用，导向面积大，工作可靠。  执行机构采用多弹簧结构，高度减小30%。重量减轻30%。 零件材料： 阀体、阀盖：HT200、ZG230-450、ZG1Cr18Ni9Ti

阀芯、阀座：1Cr18Ni9Ti，司太莱合金堆焊

波纹膜片：丁晴橡胶夹增强涤纶织物

填料：聚四氟乙烯，柔性石墨

膜盖：A3

弹簧：60SiMn

阀杆、推杆：2Cr13、1Cr18Ni9Ti

衬套：2Cr13

软密封阀芯：增强聚四氟乙烯

垫片：橡胶石棉板、10、1Cr18Ni9Ti石棉缠绕垫片 技术参数： 公称通径DN（mm）253240506580100125150200额定流量系数（KV）合流8.51321345385135210340535分流8.51321345385135210340535额定行程L（mm）16254060膜片有效面积Ae（cm2）2804006001000公称压力PN（MPa）1.6、4.0、6.4固有流量特性直线、抛物线固有可调比(R)30工作温度t（℃）普通型:铸铁-20~200铸钢-40~250铸不锈钢-60~250散热型:铸钢-40~450铸不锈钢-60~450两种介质温度差t（℃）铸铁≤150铸钢、铸不锈钢≤200信号范围Pr(kpa)40~200气源压力Ps(MPa)0.14~0.4允许泄漏量（l/h）10-4×阀额定容量允许压差△P(MPa)0.860.750.480.310.270.180.110.120.090.05本产业性能指标贯彻GB/T4213-92标准 规格重量： 外形尺寸及重量公称通径253240506580100125150200A282306306306394394394498498498H1PN16121130140153178190200260320360PN40130140150160185200220280320380PN64160170180200230250282310430480H普通型PN16

PN4049048054058071073075089510051045PN6456056159663076079887689212001263高温型600615650670850870900104013301370重量（kg）普通型PN16

PN4021233336647292155193286PN64252840457485112180243336高温型重量增加（5－10）%注：1、本表高温型的高度与重量依PN16为依据。2、带手轮机构高度应增加152（DN20~50）、182（DN65~100）、253（DN125~200）

　　2012年MEMS技术和产业市场继2011年仍然呈现出增长态势，除了在汽车、消费类电子和移动电话以及喷墨头、汽车市场外，高端MEMS市场销售额是增长最快的领域。高端市场主要是指用于恶劣环境、具有高精度和高可靠性的产品，价位高于一般消费类市场的产品，即这些传感器和执行器不适用于消费类电子产品和汽车的批量市场，而是适用于工业、交通、能源、医疗、光通信以及航空航天和国防领域。MEMS器件和传感器在这类市场的销售取得了不菲的业绩。 　　据了解，缓冲分布式喷射反应室、整合ALD与CVD的工艺技术和MOCVD电场辅助生长，是昭信半导体MOCVD设备的创新点。采用BDS反应腔体，通过中心辐射流动与垂直喷淋流动的结合，吸收行星反应腔体层流，从而无需行星反应腔体所需的复杂运动。采用的气流模式可准确实现反应气体的瞬时切换，在保持腔体流场不变的情况下，自力式压力调节阀厂家,贝尔茨电动调节阀，可以实现反应气源从连续到脉冲注入的切换。加热炉体采用多区电阻片红外辐射加热方式，每个加热区域可以独立控制，可以实现大面积温度均匀可控，获得更广范围的加热温区。控制系统采用网络架构，杭州茨中自控阀门有限公司,茨中自控阀门,实现传感器与执行器实时控制；根据不同外延工艺对实时性的敏感性进行了针对性设计，以保证生产的重复性与稳定性。 　　在试验技术能力方面，国内阀门行业受资金投入限制，仅有少数阀门企业拥有专门的试验设施，试验分析手段仍较弱。缺乏关键的高端阀门试验研究试验条件，如热态、动态和冷热交变的试验条件，制约了许多产品的试验考核工作。如主蒸汽隔离阀的模拟上、下游管道破裂时的流体阻断性能试验，稳压器安全阀的排量试验等，自力式压力调节阀厂家,气动调节阀，自力式压力调节阀厂家,ZAZP/M电动单座调节阀，国内还没有试验台架可进行上述试验，而正是通过这些试验才能验证阀门的可靠性。而国外先进企业靠集团化发展，实力雄厚，能够进行大的科研投入，不少企业建有先进的研发机构和试验设备，如高温高压安全阀性能试验装置，调节阀流量试验设备等，像日本冈野、德莱塞、费希尔、苏尔寿、西门子等公司均具有企业研发试验基地。雄厚的研发实力使国外厂家产品不断创新提高，垄断着高端产品一块市场。

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